近期，原子能院核技術(shù)所利用核輻射探測(cè)器研發(fā)條件項(xiàng)目設(shè)備、設(shè)施(簡(jiǎn)稱“核輻射探測(cè)器研發(fā)設(shè)施”)，相繼開展了一系列核探測(cè)技術(shù)重大科研項(xiàng)目研發(fā)工作，標(biāo)志著該設(shè)施已具備為重點(diǎn)科研項(xiàng)目提供技術(shù)支撐的能力。該設(shè)施包含的半導(dǎo)體探測(cè)器工藝線，是中核集團(tuán)半導(dǎo)體探測(cè)器制備工藝研究設(shè)備、設(shè)施最為齊全的工藝線，它的投運(yùn)進(jìn)一步提升了我國先進(jìn)半導(dǎo)體探測(cè)器研發(fā)的自主創(chuàng)新能力。

核輻射探測(cè)器研發(fā)設(shè)施主要用于硅平面工藝探測(cè)器、高純鍺、化合物半導(dǎo)體探測(cè)器等先進(jìn)半導(dǎo)體探測(cè)器的研究和制備。其主要工藝設(shè)備包括光刻機(jī)，低壓化學(xué)氣相沉積、氧化擴(kuò)散、磁控濺射、清洗腐蝕等設(shè)備，以及環(huán)境試驗(yàn)和電離輻射試驗(yàn)設(shè)備設(shè)施。目前，依托核輻射探測(cè)器研發(fā)設(shè)施，國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目“全自動(dòng)高純鍺能譜儀的研制”開展了高純鍺探測(cè)器鋰蒸發(fā)擴(kuò)散、表面處理工藝等實(shí)驗(yàn)研究;中子探測(cè)項(xiàng)目完成了高溫電離室溫度沖擊、振動(dòng)等環(huán)境試驗(yàn)和中子響應(yīng)測(cè)試等試驗(yàn)。

半導(dǎo)體探測(cè)器工藝線是核輻射探測(cè)器研發(fā)設(shè)施最主要的工藝線之一，經(jīng)過多次調(diào)試及試驗(yàn)，該工藝線于2019年投入運(yùn)行，并圍繞重點(diǎn)科研工作逐步開展了半導(dǎo)體探測(cè)器清洗腐蝕、光刻、鍍膜、片上薄膜質(zhì)量和電學(xué)性能測(cè)試、劃片封裝等工藝研究，以及整機(jī)線性溫度沖擊實(shí)驗(yàn)、振動(dòng)等環(huán)境實(shí)驗(yàn)。由于半導(dǎo)體探測(cè)器在國民經(jīng)濟(jì)建設(shè)、核物理實(shí)驗(yàn)以及輻射環(huán)境測(cè)量等方面具有廣泛用途，隨著核輻射探測(cè)器研發(fā)設(shè)施投入運(yùn)行，將使我國具備高純鍺、硅平面工藝探測(cè)器等先進(jìn)半導(dǎo)體探測(cè)器批量化的制造能力，從而為核工業(yè)持續(xù)發(fā)展奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

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